发明名称 |
加工装置 |
摘要 |
本发明提供一种加工装置,即使在对加工单元与摄像对象物之间存在不透光层的工件进行拍摄的情况下,也能够对摄像对象物进行拍摄。该加工装置具有:保持单元,其具有对工件进行保持的、由透明体形成的保持部;加工单元,其对由该保持单元保持的所述工件进行加工;加工进给单元,其使保持单元和加工单元在与保持部的表面平行的X轴方向以及与该X轴方向垂直的Y轴方向上相对地进给;以及摄像单元,其透过保持部对由保持单元保持的工件进行拍摄,该摄像单元包括:对工件进行拍摄的摄像机构;以及摄像机构进给单元,其使该摄像机构相对于保持部,在X轴方向和Y轴方向上进行相对的进给,通过加工进给单元使该摄像单元与该保持单元一体地进给。 |
申请公布号 |
CN101714498A |
申请公布日期 |
2010.05.26 |
申请号 |
CN200910175727.2 |
申请日期 |
2009.09.29 |
申请人 |
株式会社迪思科 |
发明人 |
大宫直树;增田幸容 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I;B23K26/00(2006.01)I;B23K26/42(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 11127 |
代理人 |
黄纶伟 |
主权项 |
一种加工装置,其特征在于,该加工装置具有:保持单元,其具有对工件进行保持的、由透明体形成的保持部;加工单元,其对由该保持单元保持的所述工件进行加工;加工进给单元,其使所述保持单元和所述加工单元在与所述保持部的表面平行的X轴方向以及与该X轴方向垂直的Y轴方向上相对地进给;以及摄像单元,其透过所述保持部对由所述保持单元保持的所述工件进行拍摄,该摄像单元包括:对所述工件进行拍摄的摄像机构;以及摄像机构进给单元,其使该摄像机构相对于所述保持部,在所述X轴方向和Y轴方向上进行相对的进给,通过所述加工进给单元使该摄像单元与该保持单元一体地进给。 |
地址 |
日本东京都 |