| 发明名称 | 应用于半导体工艺的自动升降推车 | ||
| 摘要 | 本实用新型提出一种应用于半导体工艺的自动升降推车，包括车身、位于车身上的至少一搁板和升降驱动装置，所述至少一搁板用于承载半导体工艺装置，所述升降驱动装置包括滑块、轴承和直流电机，所述直流电机驱动滑块在轴承上运动，所述轴承设置于所述至少一隔板下方，从而带动至少一隔板的升降。本实用新型提出的应用于半导体工艺的自动升降推车，可以降低作业人员的背部及腰部的负荷，同时也降低了漏操作的几率。 | ||
| 申请公布号 | CN201484455U | 申请公布日期 | 2010.05.26 |
| 申请号 | CN200920207716.3 | 申请日期 | 2009.08.11 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 王舜文;吕鸿辉;姚琦;张炜 |
| 分类号 | B62B3/02(2006.01)I | 主分类号 | B62B3/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种应用于半导体工艺的自动升降推车，包括车身、位于车身上的至少一搁板和升降驱动装置，所述至少一搁板用于承载半导体工艺装置，其特征在于：所述升降驱动装置包括滑块、轴承和直流电机，所述直流电机驱动滑块在轴承上运动，所述轴承设置于所述至少一隔板下方，从而带动至少一隔板的升降。 | ||
| 地址 | 201203 上海市张江路18号 | ||