成型材料转移方法和衬底结构

摘要

本发明提供了一种用于制造具有突起图案的衬底的新的且高度可靠的衬底制造技术，其可以减少在形成突起图案时引入气泡所造成的结构缺陷，可以提高产品的可靠性和产品的产率，不需要例如真空排气的离线步骤，并且由此提高了生产效率并简化了步骤。根据本发明的一种成型材料转移方法包括：将成型材料糊剂填充到填充凹板的凹入部分中，所述填充凹板在平坦表面上具有所述凹入部分；使其上形成有特定凹槽图案的转移凹板部分地接触到填充凹板的所述表面，并且在此接触状态下，通过毛细现象将填充凹板的凹入部分中的成型材料填充到转移凹板的凹槽中；并将转移凹板的凹槽中的成型材料转移到衬底上，衬底接受被转移的材料作为突起。

主权项

一种成型材料转移方法，包括：将成型材料糊剂填充到填充凹板的凹入部分中，所述填充凹板在平坦表面上具有所述凹入部分；使其上形成有特定凹槽图案的转移凹板部分地接触到所述填充凹板的所述表面，并且在此接触状态下，通过毛细现象将所述填充凹板的所述凹入部分中的所述成型材料填充到所述转移凹板的所述凹槽中；以及将所述转移凹板的所述凹槽中的所述成型材料转移到衬底上，所述衬底接受所述被转移的材料作为突起。