| 发明名称 | 用于原子层沉积的设备 | ||
| 摘要 | 一种捕集器，其停留时间至少等于原子层沉积(ALD)过程的一个完整周期时间，这种捕集器能在流出物进入前级泵之前从反应腔和反应产物中捕集气相流出物。这种捕集器可以直接连接到反应腔，或者通过一个工艺过程用泵间接连接。这种捕集器在用于原子层沉积过程中时很有益处。 | ||
| 申请公布号 | CN1644756B | 申请公布日期 | 2010.05.26 |
| 申请号 | CN200410081873.6 | 申请日期 | 2004.12.31 |
| 申请人 | 爱德华兹真空股份有限公司 | 发明人 | F·詹森 |
| 分类号 | C23C16/54(2006.01)I;C23C26/00(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/54(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 周承泽 |
| 主权项 | 一种沉积设备，包括：第一和第二前体气体源(215，217)，与所述第一和第二前体气体源(215，217)相连的第一和第二阀(219，221)；吹扫气体源(223)，所述吹扫气体源(223)具有第三阀(225)，所述第三阀(225)允许惰性气体流过，依次操作所述第一和第二前体气体源(215，217)以及所述吹扫气体源，构成沉积循环；反应腔(211)，所述反应腔(211)与所述第一，第二，和第三阀(219，221，225)相连；与所述反应腔(211)相连的捕集器(315)；所述捕集器(315)具有入口(321)和出口(323)，所述入口(321)与所述反应腔(211)相连，所述捕集器(315)的停留时间至少等于一个沉积周期，其中所述入口(321)和所述出口(323)位于所述捕集器(315)的顶部。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||