发明名称 |
应用硬化剂对应变材料层的松弛 |
摘要 |
本发明涉及一种制造至少部分松弛的材料层(5,5a,5b)的方法,其包括以下步骤:提供包括位于回流层(2,2a,2b)与硬化剂层(4,4a,4b)之间的应变材料层(3,3a,3b)的结构(10);施加热处理,该热处理使回流层(2,2a,2b)的温度等于或大于回流层(2,2a,2b)的玻璃转化温度,该方法包括在施加热处理期间,逐渐减小硬化剂层(4,4a,4b)的厚度。本发明还涉及制造半导体器件的方法,该方法包括提供通过前述方法获得的至少部分松弛的材料层(5,5a,5b),该方法还包括在所述至少部分松弛的材料层(5,5a,5b)上形成至少一个有源层(6,6a,6b),尤其是激光部件、光伏部件或电致发光二极管的有源层(6,6a,6b)。 |
申请公布号 |
CN101714505A |
申请公布日期 |
2010.05.26 |
申请号 |
CN200910172880.X |
申请日期 |
2009.09.07 |
申请人 |
硅绝缘体技术有限公司 |
发明人 |
奥列格·科农丘克 |
分类号 |
H01L21/02(2006.01)I;H01L21/20(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/02(2006.01)I |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 11127 |
代理人 |
李辉 |
主权项 |
一种制造用于电子装置、光电子装置或光伏装置的至少部分松弛的材料层(5,5a,5b)的方法,所述方法包括以下步骤:提供结构(10),所述结构(10)包括支承衬底(1)和应变材料层(3,3a,3b),回流层(2,2a,2b)位于所述支承衬底(1)上,所述应变材料层(3,3a,3b)位于所述回流层(2,2a,2b)与硬化剂层(4,4a,4b)之间,施加热处理,所述热处理使所述回流层(2,2a,2b)到达等于或大于所述回流层(2,2a,2b)的玻璃转化温度的温度,其特征在于,所述方法包括在施加所述热处理期间,逐渐减小所述硬化剂层(4,4a,4b)的厚度。 |
地址 |
法国克莱斯 |