| 发明名称 | 用于抗蚀剂的聚合物和使用其制造的抗蚀剂组合物 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种用于化学放大型抗蚀剂的聚合物，其由化学式1表示，[化学式1]<img file="200910171535.4_AB_0.GIF" wi="265" he="75" />和上述聚合物的抗蚀剂的组合物。在上述化学式1中，X表示乙烯基醚衍生物或烯烃衍生物，R<sub>1</sub>、R<sub>2</sub>、R<sub>3</sub>和R<sub>4</sub>中的至少一个是含有至少一个氢原子官能基的带有1到30个碳原子的烷基、醚基、酯基、羰基、缩醛基、环氧基、硝酰基(-CN)和醛基，l、m、n、o和p分别表示重复单元，l表示0.05到0.5的实数，m和n分别表示0.1到0.7的实数，o和p分别表示0到0.7的实数，且l、m、n、o和p的总和为1。 | ||
| 申请公布号 | CN101712737A | 申请公布日期 | 2010.05.26 |
| 申请号 | CN200910171535.4 | 申请日期 | 2009.08.28 |
| 申请人 | 韩国锦湖石油化学株式会社 | 发明人 | 朱炫相;金真湖;洪容和;李昌洙 |
| 分类号 | C08F220/18(2006.01)I;C08F220/32(2006.01)I;C08F220/28(2006.01)I;C08F232/08(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I | 主分类号 | C08F220/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人 | 臧建明 |
| 主权项 | 1.一种用于化学放大型抗蚀剂的聚合物，其由化学式1表示，[化学式1]<img file="F2009101715354C0000011.GIF" wi="800" he="225" />其特征在于，X表示乙烯基醚衍生物或烯烃衍生物，R<sub>1</sub>、R<sub>2</sub>、R<sub>3</sub>和R<sub>4</sub>中的至少一个是含有至少一个氢原子官能基的带有1到30个碳原子的烷基、醚基、酯基、羰基、缩醛基、环氧基、硝酰基(-CN)和醛基，l、m、n、o和p分别表示重复单元，l表示0.05到0.5的实数，m和n分别表示0.1到0.7的实数，o和p分别表示0到0.7的实数，且l、m、n、o和p的总和为1。 | ||
| 地址 | 韩国首尔市 | ||