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发明名称
摘要
申请公布号
JP4466809(B2)
申请公布日期
2010.05.26
申请号
JP20010218269
申请日期
2001.07.18
申请人
发明人
分类号
H01L21/316;C04B35/14;H01B3/46
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
主权项
地址
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