发明名称
摘要
申请公布号 JP4466809(B2) 申请公布日期 2010.05.26
申请号 JP20010218269 申请日期 2001.07.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/316;C04B35/14;H01B3/46 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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