磁控溅射生产线中移动式回架车的专用供电装置

摘要

磁控溅射生产线中移动式回架车的专用供电装置，其结构为：它包括借助相互平行的两个导轨支撑回架车的台座，所述台座上在两个导轨之间处开有用来承载拖链的托槽，托槽与导轨的走向相一致，拖链活络地置于托槽内，拖链中贯穿有电缆，拖链的一端与回架车连接、另一端与台座固接，电缆的一端与回架车内的交流电机电连接、另一端与设置在台座上的交流供电电源连接。所述托槽靠近交流供电电源的一侧设有可遮盖拖链的非移动段的罩板。该专用供电装置维护方便、成本低。

主权项

磁控溅射生产线中移动式回架车的专用供电装置，包括借助相互平行的两个导轨支撑回架车的台座，其特征在于：所述台座上在两个导轨之间处开有用来承载拖链的托槽，托槽与导轨的走向相一致，拖链活络地置于托槽内，拖链中贯穿有电缆，拖链的一端与回架车连接、另一端与台座固接，电缆的一端与回架车内的交流电机电连接、另一端与设置在台座上的交流供电电源连接。