| 发明名称 | 一种用于化学机械抛光装置的在线终点检测系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种用于化学机械抛光装置的在线终点检测系统，包括位于化学机械抛光装置上的传感器、数据采集器和工控机，其中传感器包括检测抛光盘转速的速度检测传感器和用来检测电机电流的电流检测传感器，所述速度检测传感器和电机电流检测传感器的输出端均通过接入数据采集器与工控机连接。本实用新型所述用于化学机械抛光装置的在线终点检测系统能够对化学机械抛光工艺进行实时、灵敏的在线终点检测，且能精确检测到化学机械抛光工艺的结束点。 | ||
| 申请公布号 | CN201490163U | 申请公布日期 | 2010.05.26 |
| 申请号 | CN200920064617.4 | 申请日期 | 2009.05.27 |
| 申请人 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 发明人 | 朱宗树;吕文利;魏唯 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人 | 马强 |
| 主权项 | 一种用于化学机械抛光装置的在线终点检测系统，其特征是包括位于化学机械抛光装置上的传感器、数据采集器和工控机，其中传感器包括检测抛光盘转速的速度检测传感器和用来检测电机电流的电流检测传感器，所述速度检测传感器和电机电流检测传感器的输出端均通过接入数据采集器与工控机连接。 | ||
| 地址 | 410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号 | ||