| 发明名称 | 用于沉积膜的方法和膜沉积装置 | ||
| 摘要 | 一种用于沉积膜的方法、膜沉积装置和用于制造包含有机材料的膜的方法，所述用于沉积膜的方法包括准备通过升华而被提纯的沉积材料，在降低含水量的环境中固化已提纯的沉积材料，通过降低含水量的环境将已固化的沉积材料输送至膜沉积室中，在膜沉积室中将已固化的沉积材料的膜沉积在基板上。 | ||
| 申请公布号 | CN101713066A | 申请公布日期 | 2010.05.26 |
| 申请号 | CN200910204460.5 | 申请日期 | 2009.09.29 |
| 申请人 | 佳能株式会社 | 发明人 | 须志原友和;浮贺谷信贵 |
| 分类号 | C23C16/448(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/448(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 钱亚卓 |
| 主权项 | 一种用于沉积膜的方法，包括：准备通过升华而被提纯的沉积材料；在降低含水量的环境中固化已提纯的所述沉积材料；将已固化的所述沉积材料通过降低含水量的环境输送至膜沉积室中；以及在所述膜沉积室中将已固化的所述沉积材料的膜沉积在基板上。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||