发明名称 Separating cut semiconductor wafers from a wafer stack
摘要
申请公布号 GB2465591(A) 申请公布日期 2010.05.26
申请号 GB20080021357 申请日期 2008.11.21
申请人 COREFLOW LTD 发明人 HILEL RICHMAN;ODED HAMBURGER;ARIEL HILDESHEM;EYAL SHPILBERG
分类号 H01L21/00;B28D5/00;H01L21/683 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
地址