一种传感器及其调节方法

摘要

本发明涉及一种传感器及其调节方法，所述的传感器包括：微型悬臂梁(或微型桥)和MOS管，其中，所述的微型悬臂梁(或微型桥)搭建在MOS管上，在微型悬臂梁(或微型桥)和MOS管之间形成检测电容；所述的传感器调节方法通过在微型悬臂梁或微型桥内置浮动多晶硅层，所述的浮动多晶硅层用以接收注入电荷，使浮栅电压具有传感器电耦比和注射电荷功能。因此，本发明的实现可以使微型悬臂梁、微型桥的变化情况通过电容传递MOS管，直接以输出电流信号的变化情况反应微型悬臂梁、微型桥的变化情况；同时，可以通过注射电荷的数量调节传感器的阈值电压，提高传感器的灵敏度。

主权项

一种传感器的调节装置，其特征在于，包括：多晶硅浮栅层，所述的多晶硅浮栅层设于传感器的微型悬臂梁或微型桥内部，且所述的多晶硅浮栅层与所述微型悬臂梁或微型桥间设有绝缘层；其中，所述的多晶硅浮栅层接收第一次注射电荷，并将第一次注射电荷储存在多晶硅浮栅层，作为多晶硅浮栅层的原始注射电荷量，用以设置传感器的阈值电压的初始值；所述的多晶硅浮栅层接收后续的注射电荷，并通过调节注射电荷的数量来调节传感器的阈值电压。