发明名称 低电容双向ESD保护器件及其制备方法
摘要 本发明涉及半导体器件双向低压瞬态电压抑制器件的领域,具体为低电容双向ESD保护器件及其制备方法。一种低电容双向ESD保护器件,由低电容二极管和低压TVS管串联构成,其特征在于:包括四个导向二级管和一个TVS管,四个导向二级管分布在TVS管的中部和侧边,其中,TVS管(17)的阳极与分布在两边侧的边侧二极管(15、16)的阳极连接,TVS管(17)的阴极与设在中部的二个导向二极管的阴极相连,两个中部二极管(13、14)的阳极又与其相邻的边侧二极管(15、16)的阴极相连,形成回路。具有低电容、低钳位和快速响应的特点,能够很好地满足手机等便携式电子产品对器件低电容、小型化的要求;在3G等高频领域应用更为广阔。
申请公布号 CN101714759A 申请公布日期 2010.05.26
申请号 CN200910198635.6 申请日期 2009.11.11
申请人 上海长园维安微电子有限公司 发明人 张关保;苏海伟;吴兴农
分类号 H02H9/04(2006.01)I;H01L23/60(2006.01)I 主分类号 H02H9/04(2006.01)I
代理机构 上海东亚专利商标代理有限公司 31208 代理人 董梅
主权项 一种低电容双向ESD保护器件,由低电容二极管和低压TVS管串联构成,其特征在于:包括四个导向二级管和一个TVS管,四个导向二级管分布在TVS管的中部和侧边,其中,TVS管(17)的阳极与分布在两侧的二个边侧二极管(15、16)的阳极连接,TVS管(17)的阴极与设在中部的二个中部二极管的阴极相连,两个中部二极管(13、14)的阳极又分别与其相邻的边侧二极管(15、16)的阴极相连,形成回路。
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