半导体专用设备用晶向调整装置

摘要

本实用新型涉及一种半导体专用设备用晶向调整装置，它包括纵向调整系统、横向调整系统和底座，由于采用了多个铰接机构，实现了结构简单紧凑，体积小，同时由于纵向调整系统和横向调整系统中分别采用了螺杆锁紧机构和顶丝锁紧机构，提高了整个装置的可靠性和安全性，且成本较低，降低了设备制造和用户的使用成本。本实用新型是一种理想的用于对晶片进行加工的半导体专用设备的晶向调整装置。本实用新型是一种结构简单实用、操作方便和安靠的晶向调整装置。

主权项

一种半导体专用设备用晶向调整装置，其特征是它包括纵向调整系统、横向调整系统和底座，其中，纵向调整系统的纵向摆动板(16)后端设铰轴(2)与底座(1)铰接，其螺旋传动升降调节机构中的连接柱(18)上端与纵向摆动板(16)的中底部铰接，调节旋钮(24)和调节螺杆(25)分别与连接柱(18)的中下部螺纹连接，与锁板(23)一起夹持调节旋钮(24)的压板(26)与锁板(23)固定，锁板(23)与支架板(21)间设铰轴(22)铰接，支架板(21)与连接板(20)固定，连接板(20)与底座(1)固定，水平刻度盘(14)与纵向摆动板(16)固定，与水平刻度盘(14)相对的水平刻度指示盘(15)与底座(1)固定；横向调整系统的横向摆动板(6)后端设铰轴(5)与纵向摆动板(16)铰接，横向调节机构中的拉板(9)设铰轴(8)与横向摆动板(6)前端铰接，水平调节块(7)设铰轴(12)与纵向调节板(16)铰接，与水平调节块(7)一起夹持调节螺杆(13)的压板(11)与水平调节块(7)固定，调节螺杆(13)与拉板(9)间螺纹连接并构成横向调节的螺旋传动副，横向刻度盘(4)与横向摆动板(6)固定，与横向刻度盘(4)相对的横向刻度指示盘(3)与纵向摆动板(16)固定。