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发明名称 METHOD FOR REMOVING NANOCLUSTERS FROM SELECTED REGIONS
摘要
申请公布号 EP2047504(A4) 申请公布日期 2010.05.26
申请号 EP20070870952 申请日期 2007.04.24
申请人 FREESCALE SEMICONDUCTOR, INC. 发明人 RAO, RAJESH A.;LUO, TIEN YING;MURALIDHAR, RAMACHANDRAN;STEIMLE, ROBERT F;STRAUB, SHERRY G.
分类号 H01L27/115;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/336 主分类号 H01L27/115
代理机构 代理人
主权项
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