铸塑软模具以及利用其制造微型结构的方法

摘要

本发明的目的是提供一种能容易和精确地制造以高尺寸精度设置在预定位置的诸如PDP肋之类的突出部的铸塑软模具(10)，以及提供一种利用一铸塑软模具来制造微型结构的方法。一种铸塑软模具(10)，该铸塑软模具包括：一支承件(1)，该支承件用抗拉强度至少为5kg/mm2的材料制成，且通过预先进行一水分吸收处理而在使用时的温度和相对湿度下包含达到饱和的水分；和一造型层(11)，该造型层的表面设有一预定形状和预定大小的凹槽图案(4)。

主权项

一种制造在一基片的表面上设有预定形状和预定大小的凸部图案的微型结构的方法，该方法包括以下步骤：提供一铸塑软模具，该铸塑软模具包括一支承件，该支承件用抗拉强度至少为5kg/mm2的材料制成，且通过预先进行一水分吸收处理而在使用时的温度和相对湿度下包含达到饱和的水分，该铸塑软模具还包括一设置在所述支承件上的造型层，该造型层在其表面上设有一凹槽图案，该凹槽图案的形状和大小相应于所述凸部图案的形状和尺寸；在所述基片与所述模具的造型层之间提供一可固化的造型材料，并将造型材料填充入所述模具的所述凹槽图案；固化所述造型材料，并形成具有所述基片和整体结合至所述基片的所述凸部图案的一微型结构；以及，从所述模具中脱出所述微型结构。