一种分流式真空漏孔校准的装置及方法

摘要

本发明的一种分流式真空漏孔校准的装置及方法，特别是采用分流技术实现漏率值小于1×10-8Pa.m3/s的真空漏孔校准的装置及方法，属于测量技术领域。该装置由被校漏孔、阀门、电离规、小孔、分流室、非蒸散型吸气剂泵、极高真空校准室、限流孔、极高真空抽气室、无油双涡轮分子泵抽气机组、四极质谱计、流量计、超高真空校准室、限流孔、超高真空抽气室、普通分子泵抽气机组组成。该方法采用固定流导法气体微流量计提供已知气体流量，流量测量范围宽，测量不确定度小；采用流量分流法校准真空漏孔，完全避免了四极质谱计的非线性误差，使得漏率值小于1×10-8Pa.m3/s的真空漏孔能够精确校准。

主权项

一种分流式真空漏孔校准的装置，其特征在于：该装置由被校漏孔(1)、阀门(2)、电离规(3)、阀门(4)、小孔(5)、分流室(6)、阀门(7)、阀门(8)、小孔(9)、阀门(10)、超高真空校准室(11)、限流孔(12)、阀门(13)、非蒸散型吸气剂泵(14)、非蒸散型吸气剂泵(15)、阀门(16)、极高真空抽气室(17)、无油双涡轮分子泵抽气机组(18)、限流孔(19)、极高真空校准室(20)、四极质谱计(21)、流量计(22)、普通分子泵抽气机组(23)和超高真空抽气室(24)组成；其连接关系为：被校漏孔(1)通过阀门(2)与极高真空校准室(20)连接，电离规(3)和四极质谱计(21)直接连接在极高真空校准室(20)上，无油双涡轮分子泵抽气机组(18)与极高真空抽气室(17)相连并从中抽出气体，极高真空抽气室(17)与极高真空校准室(20)连在一起，中间有一个限流孔(19)，非蒸散型吸气剂泵(14)和非蒸散型吸气剂泵(15)通过阀门(13)和阀门(16)分别与极高真空校准室(20)、极高真空抽气室(17)相连并从中抽出气体，普通分子泵抽气机组(23)与超高真空抽气室(24)相连并从中抽出气体，超高真空抽气室(24)与超高真空校准室(11)连在一起，中间有一个限流孔(12)，超高真空校准室(11)通过阀门(10)与分流室(6)相连，气体微流量计(22)通过阀门(7)与分流室(6)相连，分流室(6)中的校准气体分别通过小孔(5)、阀门(4)、阀门(8)、小孔(9)进入极高真空校准室(20)、超高真空校准室(11)。