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发明名称 WAFER COOLING DEVICE
摘要
申请公布号 KR100959727(B1) 申请公布日期 2010.05.26
申请号 KR20070115311 申请日期 2007.11.13
申请人 发明人
分类号 H01L23/34;H01L21/02 主分类号 H01L23/34
代理机构 代理人
主权项
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