发明名称 POLISHING SLURRY AND POLISHING MATERIAL USING SAME
摘要
申请公布号 KR100959439(B1) 申请公布日期 2010.05.25
申请号 KR20077026219 申请日期 2006.04.14
申请人 发明人
分类号 C09K3/14;B24B37/00;H01L21/304 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
主权项
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