发明名称 EEN ELEKTRO-PNEUMATISCHE ACTUATOR MET NANOMETER RESOLUTIE.
摘要
申请公布号 NL1036221(A) 申请公布日期 2010.05.25
申请号 NL20081036221 申请日期 2008.11.21
申请人 JANSSEN PRECISION ENGINEERING B.V.,;JANSSEN, HUBERTUS LEONARDUS MATHIAS MARIE 发明人 JANSSEN, HUBERTUS LEONARDUS MATHIAS MARIE;BREE, BARTHOLOMEUS CATHARINA THOMAS
分类号 F15B15/20;G02B7/183 主分类号 F15B15/20
代理机构 代理人
主权项
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