抛光磨料及其制造方法

摘要

本发明提供一种抛光磨料，其包括环氧树脂、硬化剂及分散剂等填充材料，以及混合于该填充材料中之奈米碳球、富勒烯粉末及钻石颗粒。本发明还提供上述抛光磨料之制造方法。本发明所提供之抛光磨料利用奈米碳球与富勒烯粉末之固态润滑性能，增加抛光磨料之润滑作用，避免工件抛光时产生划痕。本发明所提供之抛光磨料可广泛应用于玻璃制品、光学元件、陶瓷器件以及半导体晶片之抛光，可达到亚奈米级表面粗糙度。

主权项

一种抛光磨料，包括填充材料及混合其中之钻石颗粒，其改进在于：所述抛光磨料还包括混合于所述填充材料中之奈米碳球与富勒烯，所述奈米碳球为一种由多层石墨层以球中球结构所组成之多面体碳簇，所述奈米碳球之外层具有与多层奈米碳管相同之石墨层结构。