发明名称 PROCEDE D'AMINCISSEMENT D'UN BLOC REPORTE SUR UN SUBSTRAT
摘要 L'invention concerne un procédé d'amincissement d'un bloc (10, 12) reporté sur un substrat (14) Selon l'invention, le procédé comporte : ▪ le dépôt, au moins sur le substrat (14) et latéralement au bloc reporté (10, 12), d'une couche d'arrêt (16) de matériau de plus grande résistance que le matériau du bloc (10, 12) à amincir et d'épaisseur plus faible que celle du bloc reporté (10, 12); ▪ le déclenchement de l'amincissement du bloc reporté (10, 12).
申请公布号 FR2938701(A1) 申请公布日期 2010.05.21
申请号 FR20080057897 申请日期 2008.11.20
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 MARION FRANCOIS
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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