Verfahren zum Ausbilden einer Mikro-Oberflächenstruktur sowie zum Herstellen eines mikroelektromechanischen Bauelements, Mikro-Oberflächenstruktur sowie mikroelektromechanisches Bauelement mit einer solchen Struktur

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Ausbilden einer Mikro-Oberflächenstruktur an einem Substrat, insbesondere zur Herstellung eines mikroelektromechanischen Bauelements, eine derartige Mikro-Oberflächenstruktur, ein Verfahren zum Herstellen eines mikroelektromechanischen Bauelements mit einer derartigen Mikro-Oberflächenstruktur sowie ein solches mikroelektromechanisches Bauelement. Die Erfindung ist insbesondere relevant für Bauelemente der Mikrosystemtechnik (MST, microelectromechanical systems MEMS) sowie die Aufbau- und Verbindungstechnik zur hermetischen Gehäusung von Mikrobauelementen, vorzugsweise unter Verwendung von Gettermaterialien.