| 发明名称 |
FILM FORMATION METHOD, FILM FORMATION DEVICE, PIEZOELECTRIC FILM, PIEZOELECTRIC DEVICE, LIQUID DISCHARGE DEVICE AND PIEZOELECTRIC ULTRASONIC TRANSDUCER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US2010123368(A1) |
申请公布日期 |
2010.05.20 |
| 申请号 |
US20090618324 |
申请日期 |
2009.11.13 |
| 申请人 |
FUJII TAKAMICHI;NAONO TAKAYUKI;ARAKAWA TAKAMI |
发明人 |
FUJII TAKAMICHI;NAONO TAKAYUKI;ARAKAWA TAKAMI |
| 分类号 |
C23C14/34;B32B9/00;B41J2/045;B67D7/02;C23C16/54;G10K9/122;H01L41/187;H01L41/24;H05H1/24 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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