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经营范围
发明名称
ECR-Plasmaquelle
摘要
申请公布号
DE102006037144(B4)
申请公布日期
2010.05.20
申请号
DE200610037144
申请日期
2006.08.09
申请人
ROTH & RAU AG
发明人
MAI, JOACHIM;FELL, VALERI;RAU, BERND
分类号
H05H1/46;H01J37/32
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
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