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发明名称 OPTISCHES SYSTEM ZUR DETEKTION VON ANOMALIEN UND/ODER CHARAKTERISTIKA VON OBERFLÄCHEN
摘要
申请公布号 DE602004026442(D1) 申请公布日期 2010.05.20
申请号 DE200460026442T 申请日期 2004.06.24
申请人 KLA-TENCOR TECHNOLOGIES CORP. 发明人 LEWIS, ISABELLA;VAEZ-IRAVANI, MEHDI
分类号 G01N21/95;G01N21/47;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956 主分类号 G01N21/95
代理机构 代理人
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