Teilchenstrahlschreibverfahren, Teilchenstrahlschreibvorrichtung und Wartungsverfahren für selbige

摘要

Auf einer Grundlage von Layoutdaten wird eine erste Bestrahlungsdosis für einen Bestrahlungsbereich bestimmt. Es wird eine Korrekturdosis bestimmt. Die Korrekturdosis gleicht eine Dosisabweichung zwischen einem ersten Zeitpunkt, an dem eine zur Kontrolle einer Bestrahlungsdauer konfigurierte Kontrolleinheit bei einem Teilchenstrahl annimmt, er hätte eine nominale Stromdichte erreicht und einem zweiten Zeitpunkt, bei dem der Teilchenstrahl tatsächlich seine nominale Stromdichte am Zielsubstrat erreicht hat, aus.