シーリングアセンブリを有する着脱式静電チャック

摘要

【課題】ペデスタルとの間に良好なガス密シールを与え、ペデスタルとの間の熱伝達割合を良好で且つ均一なものとすることができる、処理チャンバにおいて基板を保持するための静電チャックを提供する。【解決手段】静電チャックは、静電パックと、ベースプレートと、シーリングアセンブリとを備える。ベースプレートは、静電パックの下にあり、環状棚部を超えて延長する周辺棚部及び底部表面を有する。シーリングアセンブリは、底部表面に結合され、シーリングプレート及び同心シーリングリングを備える。【選択図】図１