Verfahren zum Abscheiden einer Nanokomposit-Schicht auf einem Substrat mittels chemischer Dampfabscheidung

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abscheiden einer Nanokomposit-Schicht auf einem Substrat (2) mittels einer chemischen Reaktion innerhalb einer Vakuumkammer (5), wobei zumindest ein Ausgangsmaterial der chemischen Reaktion durch einen Einlass (7) in die Vakuumkammer (5) geführt wird, wobei das Ausgangsmaterial gebildet wird, indem eine Flüssigkeit derart mit Nanopartikeln vermischt wird, dass die Nanopartikel in der Flüssigkeit in dispergierter Form vorliegen und dass das Ausgangsmaterial als Aerosol in die Vakuumkammer (5) eingelassen wird.