| 摘要 |
Die Erfindung bezieht sich auf Hochfrequenzfelder in Ionenführungssytemen und ihre Beeinflussung durch Lochblenden. Lochblenden zwischen Ionenführungssystemen sind notwendig, um differentielle Pumpsysteme mit geringem Gasleitvermögen zu bauen, um den Strahlquerschnitt von Ionenstrahlen zu beschneiden oder um Ionen zwischen den Ionenführungssystemen zu beschleunigen oder zu fokussieren. Die Erfindung besteht darin, für das Material der Lochblenden hochohmige Dielektrika zu verwenden, die einerseits verhindern, dass auftreffende Ionen zu störenden Aufladungen führen, andererseits aber die Hochfrequenzfelder der Ionenführungssysteme frei hindurchtreten lassen. Metallisch leitende Lochblenden dagegen lassen die Hochfrequenzfelder zwischen den Ionenführungssystemen zusammenbrechen. Die Hochfrequenzfelder setzen sich durch das Material der hochohmigen Lochblenden hindurch kontinuierlich zum nächsten Ionenführungssystem fort, somit treten an den Übergängen zwischen gleichartigen Ionenführungssystemen die sonst üblichen Ionenverluste nicht mehr auf.
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