| 摘要 |
Способ получения анодной фольги, включающий нанесение в вакуумной камере на обе стороны алюминиевой основы пористого слоя нитрида вентильного металла и последующее окисление полученного слоя, отличающийся тем, что нанесение слоя нитрида вентильного металла осуществляют на непрерывно перемещающуюся алюминиевую основу путем электронно-лучевого испарения металла в вакуумной камере в атмосфере азота или в смеси азота с инертными газами, а последующее окисление полученного слоя осуществляют в плазме стационарного или импульсного магнетронного разряда, и/или в плазме высокочастотного разряда с плотностью плазмы от 109 до 1015 см-3 до образования оксидного слоя толщиной не более 10 мкм. |
