发明名称 Vorrichtung zur Detektion von Defekten in einem Objekt
摘要
申请公布号 DE202009017691(U1) 申请公布日期 2010.05.20
申请号 DE200920017691U 申请日期 2009.09.02
申请人 GP INSPECT GMBH 发明人
分类号 G01N21/95;H01L21/66 主分类号 G01N21/95
代理机构 代理人
主权项
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