发明名称 Verfahren zur Herstellung von eingebetteten nichtflüchtigen Halbleiterspeicherzellen
摘要
申请公布号 DE50115427(D1) 申请公布日期 2010.05.20
申请号 DE2001515427 申请日期 2001.12.17
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 GEHRING, OLIVER;LANGHEINRICH, WOLFRAM
分类号 H01L27/105;H01L21/28;H01L21/8246;H01L21/8247 主分类号 H01L27/105
代理机构 代理人
主权项
地址