一种有效控制热场的多晶硅铸锭炉

摘要

一种有效控制热场的多晶硅铸锭炉，设有炉体，炉体内设有保温笼，装料坩埚放置在保温笼底部的承接台上，在保温笼内设有上加热器和下加热器，保温笼设有四周笼体、上盖和底板，上加热体与保温笼的上盖固定，下加热体设置在承接台与保温笼的底板之间，在保温笼的底板的中部设有热门，在热门的下面设有冷却板，在保温笼底板的中部开有温度梯度场控制口，所述的热门装在温度梯度场控制口处，在温度梯度场控制口的侧部设有热门水平抽拉通道，热门与装在炉体上的拉杆固定连接。热门采用单门或双门结构，打开方式采用纵向抽拉结构，不仅能缩短工艺时间，生产出高品质硅锭，且降低结晶过程的能耗。其设计合理、操作简单、能提高多晶硅生长质量。

主权项

一种有效控制热场的多晶硅铸锭炉，设有炉体，炉体内设有保温笼，装料坩埚放置在保温笼底部的承接台上，在保温笼内设有上加热器和下加热器，保温笼设有四周笼体、上盖和底板，上加热体与保温笼的上盖固定，下加热体设置在承接台与保温笼的底板之间，在保温笼的底板的中部设有热门，在热门的下面设有冷却板，其特征在于：在保温笼底板的中部开有温度梯度场控制口，所述的热门装在温度梯度场控制口处，在温度梯度场控制口的侧部设有热门水平抽拉通道，热门与装在炉体上的拉杆固定连接。