发明名称 一种抛光垫修整头
摘要 本发明揭示了一种抛光垫修整头,包括可旋转式气管接头(7)、同步带轮(8)、键(5)、支撑体(9)、轴承(10)、转动环(6),转动环(6)上安装有两个轴承(10),还包括第二转动块(14)、第一气缸缸体(15)、第一气缸活塞(16)、密封圈(19)。本发明克服了现有修整头由于橡皮碗的破损造成的可靠性、稳定性较差的问题,提高了修整头的可靠性、稳定性,并延长了修整头的使用寿命。
申请公布号 CN101367200B 申请公布日期 2010.05.19
申请号 CN200710044852.0 申请日期 2007.08.14
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 王怀锋;张伟光;党国锋;赵铁军
分类号 B24B53/12(2006.01)I 主分类号 B24B53/12(2006.01)I
代理机构 上海智信专利代理有限公司 31002 代理人 王洁
主权项 一种抛光垫修整头,包括可旋转式气管接头(7)、同步带轮(8)、键(5)、支撑体(9)、轴承(10)、转动环(6),转动环(6)上安装有两个轴承(10),其特征在于,还包括第二转动块(14)、第一气缸缸体(15)、第一气缸活塞(16)、密封圈(19),所述同步带轮(8)、第二转动块(14)、第一气缸活塞(16)、转动环(6)连接成一体;所述第二转动块(14)与第一气缸活塞(16)的内部开有第二气管通路(20);所述键(5)固定于第一气缸缸体芯轴(17)上,第一气缸活塞(16)的内侧开有键槽(18),键(5)沿键槽(18)作上下运动,带动第一气缸缸体芯轴(17),也即第一气缸缸体(15)作上下运动;所述密封圈(19)安装于第一气缸缸体(15)的内壁上;所述第一气缸缸体(15)与修整轮固定架(12)连接成一体。
地址 201203 上海市浦东新区张江路18号