| 发明名称 |
Apparatus for controlling the rate of deposition of an evaporated material |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB964343(A) |
申请公布日期 |
1964.07.22 |
| 申请号 |
GB19610023878 |
申请日期 |
1961.07.03 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C14/54;G01R23/10;G05B1/08;G05D5/03 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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