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发明名称
摘要
申请公布号 JP4463600(B2) 申请公布日期 2010.05.19
申请号 JP20040091212 申请日期 2004.03.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/268;H01L21/66;H01L21/20;H01L21/322;H01L21/336;H01L29/786 主分类号 H01L21/268
代理机构 代理人
主权项
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