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发明名称
摘要
申请公布号	JP4465398(B2)	申请公布日期	2010.05.19
申请号	JP20080127978	申请日期	2008.05.15
申请人		发明人
分类号	H01L21/316;C23C16/40;H01L21/31	主分类号	H01L21/316
代理机构		代理人
主权项
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