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经营范围
发明名称
大面积基板处理系统
摘要
省略后视图。
申请公布号
CN301217588S
申请公布日期
2010.05.19
申请号
CN200930191190.X
申请日期
2009.06.18
申请人
应用材料股份有限公司
发明人
托马斯·L·杜尔;约翰·A·米勒
分类号
15-99
主分类号
15-99
代理机构
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人
闻卿
主权项
地址
美国加利福尼亚州
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