SILICON WAFER AND METHOD FOR MANUFACTURE THEREOF, AND METHOD FOR EVALUATION OF SILICON WAFER,申请号EP20000955019-传众专利搜索

发明名称	SILICON WAFER AND METHOD FOR MANUFACTURE THEREOF, AND METHOD FOR EVALUATION OF SILICON WAFER
摘要
申请公布号	EP1215309(B8)	申请公布日期	2010.05.19
申请号	EP20000955019	申请日期	2000.08.25
申请人	SUMCO TECHXIV CORPORATION	发明人	KOMIYA, SATOSHI;YOSHINO, SHIRO;DANBATA, MASAYOSHI;HAYASHIDA,KOUICHIROU
分类号	C30B29/06;C30B15/00;C30B15/04	主分类号	C30B29/06
代理机构		代理人
主权项
地址