高流量环形拖动复合分子泵

摘要

本发明为高流量环形拖动复合分子泵解决已有复合盘拖分子泵结构复杂，成本高，抽气槽的当量通道长度较短，对分子量较小的气体的压缩比低的问题。高流量环形拖动复合分子泵，其特征在于泵体(1)内沿主轴的轴向从进气口到排气口依次串联有涡轮组件、牵引组件，每个组件由一级单元或串联的多级单元构成，涡轮组件的每级单元由涡轮动叶片和涡轮静叶片配合组成，牵引组件的每级单元由光面动叶片和抽气盘组成，牵引组件的末级单元的抽气盘在单面有环形抽气槽，其它单元的抽气盘在上、下面有环形抽气槽，涡轮动叶片和光面动叶片与主轴连接成转子体，涡轮静叶片和抽气盘与泵体(1)的内壁固连，主轴与电机组件(8)连接，抽气盘的形环抽气槽底壁上有通孔(13)，涡轮动叶片和光面动叶片与抽气盘的连接处有抽气通道，与环形抽气槽相通，相邻单元的抽气通道相通。

主权项

高流量环形拖动复合分子泵，其特征在于泵体(1)内沿主轴的轴向从进气口到排气口依次串联有涡轮组件、牵引组件，每个组件由一级单元或串联的多级单元构成，涡轮组件的每级单元由涡轮动叶片和涡轮静叶片配合组成，牵引组件的每级单元由光面动叶片和抽气盘组成，牵引组件的末级单元的抽气盘在正面有环形抽气槽，背面为光面，牵引组件的其它单元的抽气盘在正面和背面面有环形抽气槽，涡轮动叶片和光面动叶片与主轴连接成转子体，涡轮静叶片和抽气盘与泵体(1)的内壁固连，主轴与电机组件(8)连接，抽气盘的形环抽气槽底壁上有通孔(13)，抽气盘的环形抽气槽内有隔板(12)将环形抽气槽截断，隔板(12)一侧的抽气槽内有通孔(13)，另一侧的抽气槽外侧壁上有缺口(14)，缺口的外槽壁靠近抽气盘的外圆周，与动叶片的外圆柱面形成抽气通道，相邻两抽气盘中，位于前面的抽气盘的缺口与位于后面的抽气盘的缺口对齐。