发明名称 合成碳纳米管的装置和方法
摘要 本发明提供合成碳纳米管的装置和方法,其能均匀地供给用来合成碳纳米管的源气体,有效地排放源气体,并提高碳纳米管的收取率。按照这样的装置和方法,可以大量合成碳纳米管。
申请公布号 CN1982212B 申请公布日期 2010.05.19
申请号 CN200610167414.9 申请日期 2006.12.15
申请人 细美事有限公司 发明人 黄湖水;金成洙;崔硕珉;黄镇泰;张硕元;金亨锡;孔炳闰
分类号 C01B31/02(2006.01)I;B82B3/00(2006.01)I 主分类号 C01B31/02(2006.01)I
代理机构 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 代理人 武玉琴;张友文
主权项 一种合成碳纳米管的装置,包括:反应管,用于定义让碳纳米管在其中生产的生产空间;用于加热所述反应管的加热单元;船形容器,在处理过程中,所述船形容器位于所述生产空间内,在所述船形容器上装载复合衬底;以及具有喷嘴单元的气体供给部件,用于将源气体供给到所述生产空间,所述喷嘴单元包括在不同高度处供给源气体的注射部件。
地址 韩国忠清南道