发明名称 | 合成碳纳米管的装置和方法 | ||
摘要 | 本发明提供合成碳纳米管的装置和方法,其能均匀地供给用来合成碳纳米管的源气体,有效地排放源气体,并提高碳纳米管的收取率。按照这样的装置和方法,可以大量合成碳纳米管。 | ||
申请公布号 | CN1982212B | 申请公布日期 | 2010.05.19 |
申请号 | CN200610167414.9 | 申请日期 | 2006.12.15 |
申请人 | 细美事有限公司 | 发明人 | 黄湖水;金成洙;崔硕珉;黄镇泰;张硕元;金亨锡;孔炳闰 |
分类号 | C01B31/02(2006.01)I;B82B3/00(2006.01)I | 主分类号 | C01B31/02(2006.01)I |
代理机构 | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人 | 武玉琴;张友文 |
主权项 | 一种合成碳纳米管的装置,包括:反应管,用于定义让碳纳米管在其中生产的生产空间;用于加热所述反应管的加热单元;船形容器,在处理过程中,所述船形容器位于所述生产空间内,在所述船形容器上装载复合衬底;以及具有喷嘴单元的气体供给部件,用于将源气体供给到所述生产空间,所述喷嘴单元包括在不同高度处供给源气体的注射部件。 | ||
地址 | 韩国忠清南道 |