一种延长单晶炉真空泵寿命的装置

摘要

本发明涉及一种延长单晶炉真空泵寿命的装置。该装置包括一过滤器腔体，一位于腔体顶部的过滤器盖，一位于过滤器的进气管道，一位于过滤器腔体侧面的排气管道，其特征在于：所述的过滤器腔体内底部有一有机硅油层，有机硅油层上方有一滤网，所述的进气管道出口位于所述的有机硅油层与滤网之间。当气流携带各种杂质从炉室离开进入真空泵之前，先经油过滤器将杂质过滤，就不会危害到真空泵油，也就相应提高了真空泵的使用寿命。

主权项

一种延长单晶炉真空泵寿命的装置，包括一过滤器腔体，一位于腔体顶部的过滤器盖，一位于过滤器中央的进气管道，一位于过滤器腔体侧面的排气管道，其特征在于：所述的过滤器腔体内底部有一有机硅油层，有机硅油层上方有一滤网，所述的进气管道出口位于所述的有机硅油层与滤网之间。