用于对半导体设备进行分类的方法

摘要

本发明涉及一种当持续半导体设备的常规批次最终分类时，使用备用的其它设备对新类型的半导体设备进行检查，从而增强半导体设备的外观的检查效率的方法。所述方法包括通过转移来自装载单元的容纳对象的盘并将通过视觉相机获取的图像信息与对应对象的存储图像信息进行比较来确定所述对象是否是次等的，根据所述确定的结果对对象进行分类和卸除，当完成对应批次中的所有对象的分类时，通过对缓冲盘中的正规对象进行卸载来执行批次最终分类，以及当在批次最终分类期间输入新批次中的对象的预定信号执行现有批次的批次最终分类时，执行新批次中的对象的检查。

主权项

一种使用视觉相机检查对象的外观并根据所述检查的结果对所述对象进行分类的半导体设备分类方法，该方法包括：通过从装载单元转移用于容纳所述对象的盘并且将通过视觉相机获取的图像信息与对应对象的存储图像信息进行比较来确定所述对象是否是次等的；根据所述确定的结果通过所述对象的状态来对被容纳在转移盘中的对象进行分类和卸除；当完成对应批次中的所有对象的分类时，通过对缓冲盘中的正规对象进行卸载来执行批次最终分类；以及当在所述批次最终分类期间输入新批次中的对象的预定信号执行现有批次的批次最终分类时，执行新批次中的对象的可视检查。