一种具有气压敏感效应的碳/硅异质结新材料

摘要

本发明提供了一种具有气压敏感效应的碳/硅异质结新材料，该材料是通过磁控溅射的方法，将纯度为99.9％的石墨靶或者将含有0～10％(质量分数)的铁的铁-石墨复合靶溅射到抛光的硅基片上，形成一层厚度为20nm～200nm的膜。该碳/硅异质结新材料具有明显的气压敏感效应，即材料的电阻值随气压变化而变化，可以用于制备气压传感器，无需额外设计电容器，通过该材料的电阻变化可直接反映出气压的变化，具有体积小，可做成立方毫米级，易于集成，材料耐高温、耐腐蚀、性质稳定。

主权项

一种具有气压敏感效应的碳/硅异质结新材料，其特征是，在一块0.5～1.0mm厚的抛光硅基片上，溅射一层类金刚石碳薄膜，薄膜的厚度为20～200nm。