| 发明名称 | 探针板以及制造该探针板的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种探针板以及制造该探针板的方法。所述方法包括：在基底上形成与导电图案电连接的焊接缓冲件；形成与所述导电图案连接并受所述焊接缓冲件支撑的探针；然后熔化所述焊接缓冲件，从而将所述探针固定在所述基底上。所述焊接缓冲件的形成包括如下步骤：借助于光刻过程以相同的图案和尺寸形成各焊接缓冲件。 | ||
| 申请公布号 | CN101310375B | 申请公布日期 | 2010.05.19 |
| 申请号 | CN200680040203.7 | 申请日期 | 2006.10.19 |
| 申请人 | 飞而康公司 | 发明人 | 李亿基;申圭贤;郑圣勋 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人 | 陈桂香;武玉琴 |
| 主权项 | 一种制造探针板的方法，包括：在包括多个导电图案的基底上形成焊接缓冲件，所述焊接缓冲件与所述导电图案电连接并具有让探针插入的间隙部分；将探针插入所述间隙部分中，所述探针由所述焊接缓冲件物理地支撑并与所述导电图案连接；以及熔化所述焊接缓冲件，从而将所述探针固定在所述基底中。 | ||
| 地址 | 韩国首尔市 | ||