发明名称 Device for the production of an active gas beam
摘要
申请公布号 EP1292176(B8) 申请公布日期 2010.05.19
申请号 EP20020019754 申请日期 2002.09.04
申请人 PVA TEPLA AG 发明人 KONAVKO, RUDOLPH;KONAVKO, ARKADY;SCHMID, HERMANN
分类号 H05H1/30;H05H1/34 主分类号 H05H1/30
代理机构 代理人
主权项
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