发明名称 |
晶舟 |
摘要 |
一种晶舟,包括多个均匀排列的晶片放置槽,所述的晶片放置槽根据所在位置的不同,被划分为不同的区域,不同区域的晶片放置槽上设置不同的标记。采用本实施例所述的晶舟,晶片放置槽上的序号突出醒目,晶片放置槽区域分明,大大降低了错误发生的几率,并且方便我们在测试试验的过程中观察晶片的装载,保证特定的晶片被正确的装载到实验仪器中去,提高了测试的准确性和效率;同时,还可以借助深、浅色带分界处的平行分割线,判断晶片的放置是否水平,避免出现斜放晶片的情况。 |
申请公布号 |
CN201478282U |
申请公布日期 |
2010.05.19 |
申请号 |
CN200920208275.9 |
申请日期 |
2009.08.21 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
胡轶强;苏捷峰 |
分类号 |
H01L21/673(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/673(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种晶舟,包括:一种包括多个均匀排列的晶片放置槽,其特征在于,所述的晶片放置槽根据所在位置的不同,被划分为不同的区域,不同区域的晶片放置槽上设置不同的标记。 |
地址 |
201203 上海市张江路18号 |