平面抛光磨头

摘要

本实用新型涉及一种平面抛光磨头，包括主轴、磨盘和连接在所述主轴与磨盘之间的弹性块，所述主轴与磨盘之间还连接有对所述弹性块的径向变形量进行限制的限位销。所述主轴和磨盘上分别开设有位置对应的连接孔，所述限位销设置在所述连接孔处。所述限位销的一端与所述磨盘固定，另一端与所述主轴为径向和轴向的间隙配合连接。本实用新型通过在主轴与磨盘之间设置限位销，当磨盘负载过大时，限位销可以限制弹性块的径向变形量，一方面减缓弹性块的老化断裂，提高弹性块的使用寿命，另一方面减小了振动，降低了功耗，具有运行安全可靠、工作寿命长、功耗小等优点。

主权项

一种平面抛光磨头，包括主轴、磨盘和连接在所述主轴与磨盘之间的弹性块，其特征在于，所述主轴与磨盘之间还连接有对所述弹性块的径向变形量进行限制的限位销。