大气压等离子体处理中用于收集和过滤副反应物的过滤系统

摘要

本实用新型公开了一种大气压等离子体处理中用于收集和过滤副反应物的过滤系统。该过滤系统能够被集成到一个大气压等离子体系统中带有喷头的等离子头上。该过滤系统包括吸入头，抽气单元和过滤单元。吸入头设置在等离子头上并用于收集和指引含有反应副产品的气体。抽气单元通过通气元件连接到吸入头并用于将来自吸入头的含有反应副产品的气体通过通风元件进行排放。过滤单元连接至吸入头和抽气单元并用于过滤含有反应副产品的气体。

主权项

一种大气压等离子体处理中用于收集和过滤副反应物的过滤系统，其中，该过滤系统能够被集成到一个大气压等离子体系统中带有喷头的等离子头上，其特征在于，该过滤系统包括：吸入头，设置在所述大气压等离子体系统中的所述等离子头上，用于收集和指引含有反应副产品的气体；抽气单元，通过通气元件连接到所述吸入头，用于将来自所述吸入头的含有所述反应副产品的所述气体通过所述通风元件进行排放；和过滤单元，通过所述通气元件分别连接至所述吸入头和所述抽气单元，用于过滤含有所述反应副产品的所述气体。